Analyse

  • Bestimmung von verschiedenen Kohlenstoffmodifikationen mittels Ramanspektroskopie
  • Untersuchung des Alterungsprozesses von SiC-haltigen Slurrys beim Sägen von Silizium für Solarzellen
  • Picolyzer, ein online-Mikro-Sensor zur Bestimmung von Metallen auf Absorptionsbasis bis in den ppb-Bereich, gleichzeitig soll mit dieser Zelle auch Fluoreszenzmessung in der Medizintechnik getestet werden. Eine öffentliche Förderung bei dem Bayerischen Staatsministerium für Wirtschaft, Verkehr und Technologie im Rahmen des Förderprogramms „Mikrosystemtechnik Bayern“ wurde beantragt und genehmigt.
  • Grundsätzliche Untersuchungen zum Phänomen Zusammenklappen von 35 nm Strukturen mit großem Aspektverhältnis nach nasschemischer Behandlung
  • Mikro-Raman zum Bestimmen von Stress auf strukturierten Siliziumscheiben

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