Verfahren

  • Sprayganik
    Im Rahmen des ProfUnt-Projektes (BMBF) entwickeln und bauen wir ein fünfachsiges Sprühbeschichtersystem und selbstansaugende Mikro-Venturi-Düsen zur Abscheidung organischer Halbleiter für organische Photodioden und organische Photovoltaik. Unsere Projektpartner Siemens AG und Belectric OPV GmbH unterstützen uns dabei als industrielle Projektpaten.
  • Mikrodüsen
    Für die Lam Research AG stellen wir nasschemisch strukturierte Mikrodüsen mit wenigen Mikrometern Düsenöffnung her und optimieren diese. Der extrem geringe Durchfluss verbunden mit hohen Fließgeschwindigkeiten kann zur Reinigung von Wafern genutzt werden.
  • Picolyzer
    Der Picolyzer ist ein Online-Analysegerät zur Kontrolle von Reinigungs- und Prozessbädern in der Halbleiterindustrie, welches auf einer mikrotechnologisch erzeugten optischen Messzelle beruht, und Spuren von Metallen wie Eisen (bis etwa 1 ppb) über Komplexierung nachweist, um Kontaminationen und Ausfälle zu vermeiden. Entwickelt und gebaut wird das Gerät zusammen mit der Micro-Epsilon Messtechnik GmbH & Co. KG.
  • Multilyzer
    Um verschiedene Stoffe in der Umwelttechnik zu analysieren, werden in der Multilyzer-Messzelle mehrere Messstrecken zur optischen Detektion realisiert. Dadurch können beispielsweise alle ionische Bestandteile des für die Düngung besonders interessanten Stickstoffkreislaufs (Nitrat, Nitrit, Ammonium) gleichzeitig vermessen werden. Das Gerät wird von der Umwelt-Geräte-Technik GmbH zusammengebaut und vertrieben.
  • Pharmalyzer
    Beim Pharmalyzer wird der SERS-Effekt ausgenutzt, um an mikrotechnologisch erzeugten Siliziumspitzen eine um mehrere Dekaden höhere Raman-Anregung zu erhalten. Dadurch können Arzneimittelrückstände in wässrigen Lösungen in geringen Konzentrationen detektiert werden. In diesem Projekt arbeiten wir auch mit der UGT GmbH zusammen.
  • fiberSERS
    Zusammen mit Avago Technologies Ltd. soll ein tragbares Messgerät mit geringen Herstellungskosten entwickelt werden und über einen Lichtwellenleiter SERS-verstärkte Raman-Messungen vor Ort in wässrigen Lösungen ermöglichen.
  • Entwicklung einer mikrofluidischen Analytikzelle mit der Minitüb GmbH zur Bestimmung von Spermienkonzentrationen bei Zuchttieren.
  • Entwicklung einer Mikroelektrophoresezelle zusammen mit der Universität Leipzig zur Trennung organischer Lösungen
  • Entwicklung von Analysesystemen für die Spurenanalytik
  • Entwicklung und Bau von Sprühbelackungsgeräten bzw. Sprühbeschichtungsgeräten
  • Entwicklung und Fertigung von Mikrokanalstrukturen bzw. Spraydiffusoren für die Mikrofluidik
  • Silizium-Mikrodüsen zur Reinigung von Wafern
  • Silicon Fusion Bonding
  • Graphen-Monolayer: Abscheidung, Transfer und Charakterisierung
  • Prozessentwicklung von Beschichtungsverfahren:
    • -Metallische Beschichtungen (Sputter und Aufdampfprozesse)
    • -Polymere, z.B. Teflon (Spray- und Spincoating)
    • -Aufbringung spezieller Schichten, z. B. Keramik

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