Verfahren

Unser Reinraum bietet alle nasschemischen Verfahren zum Ätzen und Reinigen, die in der Mikrotechnologie angewandt werden. Dem Kompetenzzentrum Nanochem stehen außerdem alle sonstigen Prozesse wie Fotolithographie, Ätzverfahren im Plasma, Sputtern und Schichtherstellung wie z.B. Bedampfen und Oxidation zur Verfügung.

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