Verfahren

Dem Kompetenzzentrum Nanochem stehen:

  • alle nasschemischen Verfahren zum Ätzen und Reinigen
  • Fotolithographie
  • Ätzverfahren im Plasma
  • Sputtern
  • Schichtherstellung wie z.B. Bedampfen und Oxidation

die in der Mikrotechnologie angewandt werden zur Verfügung.

www.nanochem.eu - Kontakt - Impressum