Analyse

Es stehen spektroskopische und chromatographische Methoden (IR, UV, VPD-AAS, GCMS, IC) für qualitative und quantitative Analysen in Medien und Oberflächen bis in den Nanobereich zur Verfügung. Ein Spezialgebiet ist die Stressmessung auf Substraten mit der Mikro-Ramanspektroskopie. Die Oberflächen- und Strukturanalysen werden an zwei Rasterelektronenmikroskopen, einem Rasterkraft-Mikroskop und einem Profilometer durchgeführt. Für die Schichtdickenbestimmung verwendet Nanochem Ellipsometer und Weißlichtinterferometer.

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