Gebäude

  • Reinraum 167 m2
    Technologie 97 m2 Klasse 10.000
    Maskenherstellung 16 m2 Klasse 1.000
    Analytik 54 m2 Klasse 10.000
  • Labor Chemie 120 m2
  • Labor Chipmontage, Optoelektronik 74 m2
  • Labor REM, Testmasken 40 m2
  • Labor Rechner 48 m2

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